電子特種氣體作為半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵材料,被譽為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的“血液”,直接影響半導(dǎo)體產(chǎn)品的性能。目前,國內(nèi)半導(dǎo)體用電子特氣市場超過八成的市場份額被外資企業(yè)壟斷,特別是高端電子特氣國內(nèi)自給率非常低,嚴(yán)重制約了我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的健康穩(wěn)定發(fā)展。國際貿(mào)易摩擦、地緣
電子特種氣體作為集成電路的重要耗材,隨著中國集成電路行業(yè)的發(fā)展,對于行業(yè)的產(chǎn)業(yè)規(guī)劃重視程度也逐漸提高,隨著中國集成電路行業(yè)的發(fā)展,對于行業(yè)的產(chǎn)業(yè)規(guī)劃重視程度也逐漸提高,從“九五”計劃的開發(fā)包括電子特氣在內(nèi)的材料到針對電子特氣在內(nèi)的集成電路產(chǎn)業(yè)技術(shù)攻關(guān)。電子特種氣體行業(yè)發(fā)展至今仍然以電子特種氣體為主,服務(wù)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
自2009年以來,工信部、科技部、國務(wù)院、國家能源局等多部門都陸續(xù)印發(fā)了支持、規(guī)范電子特種氣體行業(yè)的發(fā)展政策,內(nèi)容涉及電子特氣發(fā)展技術(shù)路線、電子特氣制備項目安全運行規(guī)范等內(nèi)容。目前,我國現(xiàn)有及規(guī)劃在建的電子特種氣體集中分布于東部地區(qū),東部多個省份在“十四五”期間提出若干項針對電子特種氣體或者集成電路產(chǎn)業(yè)的支持型、規(guī)范性政策,給予電子特氣生產(chǎn)技術(shù)、企業(yè)扶持、產(chǎn)業(yè)集群建設(shè)等方面的政策支持。
電子特種氣體(簡稱電子特氣),是指用于半導(dǎo)體、平板顯示及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的特種氣體。人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當(dāng)今興起的高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。電子氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)制造、非晶硅太陽能電池、液晶顯示器件、光導(dǎo)纖維生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110 余種單元特種氣體,其中常用的有20~30種。電子特種氣體的發(fā)展直接帶動高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
近年來,隨著國內(nèi)集成電路、液晶面板、LED、光纖通信、光伏、醫(yī)療健康、節(jié)能環(huán)保、新材料、新能源、高端裝備制造、食品等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,新興分散用氣市場不斷發(fā)展壯大,這一市場的特點是客戶對單一氣體需求量相對較小,但對氣體品種需求較多,供氣方式以零售為主。由于外資企業(yè)在國內(nèi)的發(fā)展戰(zhàn)略主要定位于大型現(xiàn)場制氣市場,因此零售氣市場與中小型現(xiàn)場制氣市場已成為內(nèi)資企業(yè)爭奪的焦點。零售氣市場在我國起步較晚,且由于大宗氣體運輸半徑的限制而具有較強的地域性特點。部分氣體零售企業(yè)已在各自區(qū)域內(nèi)建立了先發(fā)優(yōu)勢,并不斷通過兼并收購的方式將銷售網(wǎng)絡(luò)擴展到其他區(qū)域。
根據(jù)中研普華產(chǎn)業(yè)研究院數(shù)據(jù),我國集成電路用電子氣體的市場規(guī)模2020年為76億元,2021年增長至為85億元,預(yù)計2025年規(guī)模將達到134億元,2021-2025年的年均復(fù)合增速為12.05%,步入快速發(fā)展的軌道。根據(jù)隆眾資訊的數(shù)據(jù),在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)原材料中,電子氣體(含電子大宗氣體和電子特種氣體)在半導(dǎo)體材料市場中的規(guī)模占比達14%,是僅次于硅片的第二大市場需求材料。根據(jù)ICMtia統(tǒng)計數(shù)據(jù)測算,中國集成電路用電子氣體中,電子特種氣體市場規(guī)模約占64%,則對應(yīng)我國2021年集成電路用電子特種氣體市場規(guī)模約54億元。
據(jù)中研產(chǎn)業(yè)研究院公布《2020-2025年中國電子特種氣體行業(yè)市場調(diào)查研究與發(fā)展戰(zhàn)略咨詢預(yù)測報告》顯示:
我國電子氣體市場增速有望顯著高于全球水平。中國市場方面,根據(jù)SEMI的數(shù)據(jù),預(yù)計2025年中國電子氣體市場規(guī)模將從2021年的195.77億元提升到316.60億元,2021-2025年的年均復(fù)合增速達到12.77%。我國電子氣體市場規(guī)模的增速有望明顯高于全球電子氣體,未來有較大發(fā)展空間。
由于行業(yè)進入壁壘較高,目前全球電子氣體行業(yè)呈寡頭壟斷格局。電子氣體前十大企業(yè)共占據(jù)全球電子氣體90%以上市場份額。其中,林德、液化空氣、大陽日酸和空氣化工四大國際巨頭市場份額合計超過70%。該等國際大型電子氣體企業(yè)一般同時從事大宗電子氣體業(yè)務(wù)和電子特種氣體業(yè)務(wù),從事大宗電子氣體業(yè)務(wù)的企業(yè)需要在客戶建廠的同時,匹配建設(shè)氣站和供氣設(shè)施,借助其較強的技術(shù)服務(wù)能力和品牌影響力為客戶提供整體解決方案,具有很強的市場競爭力。
電子特種氣體作為半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵材料,被譽為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的“血液”,直接影響半導(dǎo)體產(chǎn)品的性能。目前,國內(nèi)半導(dǎo)體用電子特氣市場超過八成的市場份額被外資企業(yè)壟斷,特別是高端電子特氣國內(nèi)自給率非常低,嚴(yán)重制約了我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的健康穩(wěn)定發(fā)展。國際貿(mào)易摩擦、地緣政治沖突以及全球性疫情等因素更是加劇了我國半導(dǎo)體供應(yīng)鏈的不穩(wěn)定性,實現(xiàn)半導(dǎo)體領(lǐng)域的電子特氣自給自足的重要性愈發(fā)凸顯。
“十四五”期間,中國工業(yè)氣體、集成電路產(chǎn)能分布密集的東部地區(qū)基于自身區(qū)域產(chǎn)業(yè)發(fā)展提出相應(yīng)的電子特氣行業(yè)發(fā)展規(guī)劃,其中如廣東、遼寧、河北等地基于優(yōu)勢城市、區(qū)域產(chǎn)業(yè)群加大技術(shù)投入,拓展包括電子特氣在內(nèi)的工業(yè)氣體版圖;江蘇、浙江等集成電路產(chǎn)能密集省份則基于區(qū)域相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展方向,有針對性地發(fā)展相應(yīng)電子特氣產(chǎn)業(yè),提升集成電路產(chǎn)業(yè)化程度。
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