高純氧氣可在半導(dǎo)體蝕刻工藝中產(chǎn)生氧化物層,高純氮?dú)饪捎糜谡婵毡眉芭欧畔到y(tǒng)的吹掃等。
氣體是半導(dǎo)體制造的一個(gè)重要組成部分,因?yàn)闅怏w可以產(chǎn)生塑造半導(dǎo)體電氣特性所需的化學(xué)反應(yīng)。半導(dǎo)體行業(yè)在全球范圍內(nèi)是一個(gè)巨大的產(chǎn)業(yè),并且每年都在持續(xù)增長(zhǎng),這意味著對(duì)高純氣體的需求也將隨之增長(zhǎng)。高純氧氣可在半導(dǎo)體蝕刻工藝中產(chǎn)生氧化物層,高純氮?dú)饪捎糜谡婵毡眉芭欧畔到y(tǒng)的吹掃等。
根據(jù)中研普華研究院撰寫(xiě)的《2023-2028年全球與中國(guó)高純氣體行業(yè)市場(chǎng)調(diào)研及發(fā)展趨勢(shì)分析報(bào)告》顯示:
高純氣體市場(chǎng)調(diào)研 2023高純氣體行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀前景分析
隨著燃料電池產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,氫能將擁有廣闊的市場(chǎng)空間。濰坊高純大宗項(xiàng)目主要涉及常用大宗氣體,包括高純氧氣、氮?dú)?、氬氣等,大宗氣體的市場(chǎng)空間大于特種氣體,可應(yīng)用于機(jī)械加工、鋼鐵冶煉等傳統(tǒng)工業(yè),同時(shí)在電子及半導(dǎo)體這一高速成長(zhǎng)領(lǐng)域也具備較大市場(chǎng)需求。
高純氣體在半導(dǎo)體制造行業(yè)的應(yīng)用
隨著半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展和演變,在這個(gè)過(guò)程中使用的氣體也在不斷增加。使用的一些核心氣體包括氮?dú)?、氧氣、氬氣和氫氣,我們將深入解釋它們?cè)谥圃爝^(guò)程中的作用。
氧氣是一種氧化劑,這使得它對(duì)創(chuàng)造沉積反應(yīng)至關(guān)重要。它被用來(lái)生長(zhǎng)氧化硅層,用于工藝中的各種元素,例如擴(kuò)散掩膜。當(dāng)在半導(dǎo)體制造中使用氧氣時(shí),氣體必須是超高純度的,以防止任何雜質(zhì),這些雜質(zhì)可能會(huì)對(duì)設(shè)備生產(chǎn)和性能造成損害。
氬氣主要用于紫外光刻激光器的沉積和蝕刻過(guò)程,這些激光器被用來(lái)在半導(dǎo)體芯片上制作最小的圖案。在制造所需的硅片期間,氬氣被用來(lái)保護(hù)在硅片上形成的硅晶體,使其在高溫下生長(zhǎng)過(guò)程中不會(huì)與氧氣和氮?dú)獍l(fā)生任何潛在的反應(yīng)。
由于需求增加,氫氣在半導(dǎo)體制造中的使用可能會(huì)增加。特別是在光刻階段,氫氣被用來(lái)與化學(xué)品錫反應(yīng),以產(chǎn)生氫化錫。需要?dú)浠a,以便它不會(huì)積聚在昂貴的光學(xué)器件上。氫氣被用來(lái)創(chuàng)造一個(gè)新的氧化層,以修改已經(jīng)存在的薄膜。這一過(guò)程是在高壓和高溫環(huán)境下進(jìn)行的,這意味著對(duì)流速、溫度和壓力的控制極為重要。此外,氫氣也被用于摻雜階段,以幫助控制分解,因?yàn)橛糜谶@一過(guò)程的氣體是非常有毒的。以至于它們需要被儲(chǔ)存在能夠防止泄漏的設(shè)備中。
由于我國(guó)工業(yè)氣體起步時(shí)間較晚、第三方氣體供應(yīng)商較為分散等原因,部分地區(qū)下游廠商的氣體需求仍無(wú)法得到充分滿足。本次募投項(xiàng)目可緩解下游高端制造產(chǎn)業(yè)的電子氣體需求。
氣體行業(yè)屬于朝陽(yáng)行業(yè),屬于百年興旺的行業(yè),氣體市場(chǎng)前景廣闊,發(fā)展空間巨大,氣體行業(yè)已誕生出上萬(wàn)億元市值的氣體公司。
濰坊高純大宗項(xiàng)目所處園區(qū)的企業(yè)有大量氧氣、氮?dú)狻鍤獾雀呒兌却笞跉怏w的需求,除了濰坊當(dāng)?shù)厣贁?shù)已有的氣體公司生產(chǎn)供應(yīng)外,仍有較大供給缺口。本次濰坊高純大宗項(xiàng)目投產(chǎn)后,公司將有效緩解項(xiàng)目周邊地區(qū)氣體短缺的局面。
未來(lái),高純氣體行業(yè)發(fā)展前景如何?想了解關(guān)于更多高純氣體行業(yè)專業(yè)分析,請(qǐng)點(diǎn)擊《2023-2028年全球與中國(guó)高純氣體行業(yè)市場(chǎng)調(diào)研及發(fā)展趨勢(shì)分析報(bào)告》。
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